碳化矽（SiC）晶圓超聲劃片-深圳91抖阴视频科（kē）技有限公司

技術中心（xīn）

當前位置：首頁 > 技術中心

發布：2022-06-27

SiC超聲輔助（zhù）切割技術

引文：DISCO Technical Review Mar. 2016

摘要：SiC是一種難加工的材料，有望成為功率器件的新材料，因其硬度而（ér）進行常規刀片切割。建議使用（yòng）超聲（shēng）波切割和隱形切割加工SiC晶圓。在這篇（piān）綜述中，我（wǒ）們介紹了這些劃片技術的每一個特點，以及比較質量和生產率。