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典型航（háng）空工（gōng）業難加（jiā）工材料超（chāo）聲振動輔助加工（gōng）現（xiàn）狀
超聲加工降低切削力（lì）、改善粗糙（cāo）度、降低刀具（jù）磨損
碳化矽（guī）晶圓功率密度高、耐壓高、導熱係數高，是功率半導體（tǐ）首選材（cái）料，在新能源領域應用（yòng）越來越（yuè）廣（guǎng）泛。碳化矽硬度高，采用常規的晶圓劃片方案（àn），切割（gē）速（sù）度慢，刀片（piàn）消耗（hào）大。超聲（shēng）振動輔助劃片，極大地提高了生產效率。
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