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超聲振動磨削原理、優勢、分類和發展趨勢
超（chāo）聲（shēng）振動磨削（xuē）的（de）材料去（qù）除機製和表麵形成機製
典型航空工業難加工材料超聲振動輔助加工現狀（zhuàng）
超聲加工降低切削力、改善粗糙度、降（jiàng）低刀具磨損
碳化矽晶圓功（gōng）率密度高、耐壓高、導熱係數高，是功率半導體首選材料，在新能源領域應用越來越廣（guǎng）泛。碳（tàn）化矽硬度（dù）高，采（cǎi）用常規的晶圓劃片方案，切割速度慢，刀片消耗大。超聲振動輔助劃片，極大地提高（gāo）了生產效率。
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